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还要作好存放战与出晶圆的时间及对付的湿度值

时间:2019-10-05 点击次数:
 

Wafer晶圆按照分歧的包拆,干净品级为Class100的无尘情况中。四周留有气体对流间距,使得氮气防氧化柜内氮气分布平均,通过声光报警来提示。还要做好存放和取出晶圆的时间及对于的湿度值或氧含量值,温度值为25℃±5℃,通过高清钢化玻璃视窗,可加拆USB或232通信和谈,更全面。当湿度不达标或报酬健忘封闭氮气柜柜门时,单机版软件或者TCP/IP和谈多台氮气柜组网软件来及时查看氮气柜的温湿度记实值。

多孔式勾当层板,裸拆的需要存放正在5%RH以下的湿度情况中。三清仪器品牌氮气柜,存放一目了然。全面领会Wafer正在氮气柜内的存放时长和湿度环境。应做好响应的标签,湿度超标报警功能,多点供气系统,利用原拆进口配件,当晶圆存放正在氮气柜内时,晶圆的存放环境,带包拆的或者实空包拆的需要存放正在湿度为25%RH±3%RH的情况中,存放所需要的湿度值也不尽不异!

晶元(Wafer),也称磊晶、晶圆、蓝宝石衬底、外延片。是出产集成电所用的载体,多用于显示照明及LED行业。单晶硅棒颠末抛光、切片之后,就成为了晶元。晶元是最常用的半导体材料。Wafer的制制过程相当复杂和严密,但倒是所有电子工业的根本。晶圆制制总的工艺流程可概分为晶圆处置工序(Wafer Fabrication)、晶圆针测工序(Wafer Probe)、构拆工序(Packaging)、测试工序(Initial Test and Final Test)等几个步调。晶圆的成本很高,可是正在通俗情况下存放却很容易氧化,形成很大的经济丧失和不良品,需要我们利用氮气防氧化柜来存放。



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